早在20世纪80年代初，中科院就已经开始SOI技术研究，但仅仅停留在论文上，从没有走出实验室。眼看国际上SOI产业化应用技术突飞猛进，1998年，王曦放弃国外优越生活，毅然回国挑起了中科院SOI项目的“大梁”。
“现在回想起来，当时选择回国，是我人生中最为重要的一个正确决定。作为一名科研人员，只有回到祖国的怀抱，才能脚踏实地去探索，才能实现自己的志向，才会大有作为。”王曦说。
为了尽快赶上国际先进水平，王曦带领科研团队通宵达旦地在实验室里加班加点，他们采用工程化管理，每个阶段都设定了指标。“离子注入”是王曦钻研多年的SOI材料制备中的关键技术。回国后，王曦成功地利用创新技术完成了SOI材料技术工程化研究，建立了生产线。
刚开始，生产线上做出来的SOI硅片瑕疵斑点很多，如同一片片“麻饼”。经过漫长的艰苦跋涉、昼夜奋战，他带领团队终于生产出一个个光润无瑕、晶莹剔透的“三明治”圆片。
“王老师工作极其认真细致、精益求精，大至行业发展趋势、课题研究方向，小到学生们每一篇论文的标点符号，他都事无巨细亲自把关。因此，他每天的时间总是排得满满的，我们经常在半夜里收到他的电子邮件。”王曦的学术秘书俞文杰说。
创建公司、将SOI材料产业化是王曦人生中第二个重要选择。2001年，在国家有关部委和中科院领导的支持下，王曦带领SOI项目组骨干创建了上海新傲科技有限公司，从“科学家”转型为“企业家”。
2002年，中国第一批商业化生产的SOI圆片问世，这让美国硅谷惊呆了。当地《半导体商业新闻》曾惊呼:就像在一夜之间，中国“突然冒出了一个现代化的高端集成电路硅基片企业”。
2006年，王曦负责的“高端硅基SOI材料研发和产业化”项目荣获国家科技进步奖一等奖，在关键技术上取得一系列重大创新，申请国家发明专利32项，并已获授权16项。
经过十多年创业，目前新傲公司已成为我国国内唯一、国际屈指可数的SOI生产基地，总资产已超过3亿元。
“当选为十八大代表，是我人生中极大的光荣和骄傲。”王曦说，“作为一名科研人员，我们一定要紧紧围绕国家战略树立‘顶天立地’做科研的理念。‘顶天’就是要在基础研究方面与世界同步，‘立地’就是要在产品的产业化方面扎得深、做得好。”
（新华社上海8月26日电）
